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質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。

流量控制器的工作原理

流量控制器（流量計）利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號放大去驅動(dòng)控制調節閥門(mén)。通過(guò)實(shí)時(shí)的流量檢測閉環(huán)，去控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。

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MFC質(zhì)量流量控制簡(jiǎn)介

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MFC為Mass Flow Controller的縮寫(xiě)，即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉的管內流動(dòng)時(shí)會(huì )對管壁產(chǎn)生一個(gè)力，它是科里奧利在1832年研究水輪機時(shí)發(fā)現的，簡(jiǎn)稱(chēng)科氏力。質(zhì)量流量計以科氏力為基礎，在傳感器內部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅動(dòng)線(xiàn)圈，兩端裝有拾振線(xiàn)圈，變送器提供的激勵電壓加到驅動(dòng)線(xiàn)圈上時(shí)，振動(dòng)管作往復周期振動(dòng)，工業(yè)過(guò)程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管，就會(huì )在振管上產(chǎn)生科氏力效應，使兩根振管扭轉振動(dòng)，安裝在振管兩端的拾振線(xiàn)圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個(gè)信號差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計算機解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí)，振管的主振頻率不同，據此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質(zhì)的溫度。

流量計的常見(jiàn)類(lèi)型介紹

1. 容積式流量計，它利用機械測量元件把流體連續不斷的分割成單個(gè)已知的體積部分，根據測量室逐次重復的充滿(mǎn)和排放該體積部分流體的次數來(lái)測量流體體積流量。

2. 浮子式流量計，是變面積式流量計的一種，在一根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動(dòng)力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。

3. 差圧式流量計 ，是根據安裝于管道中流量檢測件產(chǎn)生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來(lái)計算流量的儀表。

4. 渦街流量計，在流體中安放一根非流線(xiàn)型游渦發(fā)生體，流體在發(fā)生體兩側交替的分離釋放出兩串規則地交錯排列的游渦的儀表。

5. 渦輪流量計，是速度式流量計中的主要種類(lèi)，它采用多葉片的轉子（渦輪）感受流體平均流速，從而推導出流量或總量的儀表。

6. 超聲流量計，通過(guò)檢測流體流動(dòng)對超聲束（或超聲脈沖）的作用以測量流量的儀表。

7. 電磁流量計，電磁流量計是根據法拉弟電磁感應定律制成的一種測量導電性液體的儀表。

8. 熱式流量計，熱式流量計傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說(shuō)熱消散值，與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

科里奧利式流量計，其原理是利用流體在振管內流動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的科氏力，以直接或間接地方法測量其力而得到流體質(zhì)量流量。

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